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Multiscale Modeling of Low Pressure Plasma Etching Processes: Linking the Operating Parameters of the Plasma Reactor with Surface Roughness Evolution
作者:Mouchtouris Sotiris; Kokkoris George
来源:
Plasma Processes and Polymers
, 2017, 14(4-5): 1600147.
DOI:10.1002/ppap.201600147
出版日期
2017-4
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