HgCdTe/CdZnTe晶格失配与X光衍射貌相的关系研究

作者：焦翠灵; 赵守仁; 陈新强; 魏彦锋

来源：激光与红外, 2007, S1: 910-914.

• HgCdTe
• 晶格失配
• X光衍射
• 探测率 HgCdTe
• lattice mismatching
• X-ray diffraction
• detectivity

文章采用富Te水平推舟液相外延工艺在CdZnTe衬底上生长了HgCdTe外延薄膜。研究了外延薄膜/衬底晶格失配度、X光衍射貌相、红外焦平面器件探测率三者之间的关系。对于HgCdTe外延层的X光衍射貌相我们将其大致分为五类,分别是Crosshatch貌相、混合貌相、均匀背景貌相、Mosaic貌相以及由衬底质量问题引起的沟壑状貌相,采用Crosshatch貌相和混合貌相材料所制备的红外焦平面器件,平均来说其探测率(D*)较高。X射线双轴衍射的实验结果表明,当外延层与衬底的晶格失配度为~0.03%时,外延层会呈现明显的Crosshatch貌相;而当失配度减小时,会逐渐呈现出混合貌相、均匀背景貌相、直...

• 出版日期2007
• 单位中国科学院大学; 中国科学院上海技术物理研究所