薄膜制备新技术及其应用研究

作者：王学华; 薛亦渝

来源：真空电子技术, 2003, (05): 67-72.

• 薄膜
• 制备技术
• 研究进展 Thin films
• Preparation technology
• Research progress

　综述了近几年国内外在薄膜制备技术方面的研究进展,着重比较了蒸发沉积、溅射沉积、激光沉积、CVD、MBE和Sol Gel等技术的优缺点,分析了这些技术在薄膜制备中应用前景。

• 出版日期2003
• 单位武汉理工大学; 武汉工程大学