CCD倾斜角度对激光衍射对刀精度的影响

作者：石广丰; 张玉石; 王金雨; 史国权

来源：半导体光电, 2018, 39(02): 256-259.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2018.02.024

• 激光衍射
• 一级衍射条纹
• CCD
• 像面倾斜

激光衍射对刀是通过检测两个一级衍射条纹峰值点的间距来进行对刀间隙测量的一种方法。测量过程中众多工艺参数的调整会对测量结果的精度产生重要影响。由于CCD装夹误差的存在,CCD像面实际安装位置相对于系统理想光轴法平面不可避免地会发生倾斜,倾斜量的存在会导致检测结果不准确。为了研究CCD倾斜角度对衍射对刀精度的影响,建立了含有CCD倾斜角度的激光衍射光强模型和一级次极大峰值点间距误差计算模型,并提出了基于一级次极大峰值点间距的角度校正方法。通过实验确定了CCD像面最佳倾斜角度的工艺调整范围,为有效提高激光衍射对刀的精度提供了依据。

• 出版日期2018
• 单位长春理工大学; 机电工程学院