InGaAs材料、基于InGaAs材料作为沟道的MOS器件及其制备方法

作者：蒋道福; 宋建军; 任远; 宣荣喜; 胡辉勇; 舒斌; 张鹤鸣

来源：2017-02-10, 中国, ZL201710074260.7.

本发明涉及一种InGaAs材料、基于InGaAs材料作为沟道的MOS器件及其制备方法。该方法包括：选取Si衬底；生长第一Ge籽晶层；生长第二Ge主体层；加热整个衬底,并利用激光工艺对整个衬底进行晶化,激光工艺参数：波长为808nm,光斑尺寸10mm×1mm,功率为1.5kW/cm2,移动速度为25mm/s；冷却后在Ge/Si虚衬底材料上生长InGaAs材料。本发明采用激光再晶化(Laser Re-Crystallization,简称LRC)工艺可有效降低Ge/Si虚衬底的位错密度,提高后续生长的InGaAs材料质量。同时,激光再晶化工艺时间短、热预算低,可提升Si衬底上制备InGaAs材料整个工艺的效率。另外,InGaAs材料作为沟道的NMOS器件、InGaAs作为N沟道,Ge及应变GeSn作为P沟道的CMOS器件具有很高的电子和空穴迁移率,可显著提升晶体管的速度与频率特性,并降低电路整体的功耗。

• 出版日期2017-2-10
• 单位西安电子科技大学