摘要

高性价比优势使多晶硅成为光伏市场的主要材料。随着太阳电池向低成本化方向的发展,研究太阳电池多晶硅酸腐蚀绒面技术有着重要的意义。综述了近年来多晶硅太阳电池酸腐蚀绒面技术的研究进展,着重阐述多晶硅酸腐蚀绒面形成机制、最新的改进工艺及其数值模拟技术,并展望了多晶硅太阳电池酸腐蚀绒面技术的发展前景。