离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟

作者：李之杰; 潘正瑛; 朱靖; 魏启; 王月霞; 臧亮坤; 周亮; 刘提将

来源：Acta Physica Sinica, 2005, 54(05): 2233-2238.

DOI：10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.049

• 类金刚石膜
• 离子束辅助沉积
• 分子动力学模拟 diamond-like carbon film
• ion-beam assisted deposition
• molecular dynamics simulation

采用分子动力学 (MD)模拟研究了离子束辅助沉积 (1BAD)生长类金刚石 (DLC)膜的物理过程 .分别选C2 分子和Ar离子作为沉积源和辅助沉积粒子 .改变Ar的入射能量和到达比 (Ar/C) ,研究了它对DLC膜结构的影响 .重点讨论了Ar辅助沉积引起表面原子的瞬间活性变化对薄膜结构产生的影响 .分析表明 ,由于Ar离子的轰击引起的能量和动量的传递 ,大大地增强了C原子在表面的反冲动能及迁移概率 ,增加了合成薄膜的SP3键含量 .研究结果和实验观察一致 ,并从合成机理上给出了一些定量解释 .

• 出版日期2005
• 单位复旦大学; 内蒙古民族大学; 现代物理研究所