用于制备凹槽栅增强型器件的精准刻蚀装置

作者:李国强; 孙佩椰; 刘智崑; 万利军; 陈丁波; 阙显沣; 姚书南; 李润泽
来源:2019-03-29, 中国, ZL201920419968.6.

摘要

本实用新型公开了用于制备凹槽栅增强型器件的精准刻蚀装置。本实用新型提供的装置包括电感耦合等离子体刻蚀腔、电流检测装置、电感线圈、射频源、机械泵及分子泵;电流检测装置与电感耦合等离子体刻蚀腔连接;电感线圈与电感耦合等离子体刻蚀腔连接;射频源与电感线圈连接;机械泵和分子泵与电感耦合等离子体刻蚀腔连接。该装置在制备HEMT器件的过程中,当显示电流为零时,二维电子气沟道被关断,达到刻蚀终点,避免过度刻蚀造成栅极漏电及损伤二维电子气沟道,实现精准刻蚀。本实用新型仅额外接一个电流检测装置,无需增添额外的操作步骤,即可实现精确刻蚀,操作简便,有利于提高增强型HEMT器件产品良率,具有很高的实用价值。