Ag-Al共掺杂ZnO薄膜的结构及其光学性能的研究

作者：马正洪; 谭红琳; 艾国齐

来源：热加工工艺, 2011, 40(03): 33-35+38.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.2011.03.060

• 溶胶-凝胶
• 掺杂ZnO薄膜
• 晶体结构
• 透光率 sol-gel method
• doped ZnO thin film
• crystal structure
• luminousness

采用溶胶-凝胶工艺在普通玻璃基片上制备了Ag+、A13+共掺ZnO薄膜,通过XRD、紫外分光光度计和金相显微镜等设备,研究了掺杂Ag和Al对半导体ZnO薄膜组织结构和光学性能的影响。结果表明,掺杂Ag和Al对ZnO薄膜结构和光学性能的影响因浓度不同而有差异。Ag+、A13+掺杂浓度为1%时,摩尔比为4∶1;固定Ag+浓度为1.5%,A13+浓度为0.5%;Ag+、A13+浓度为3%,摩尔比为4∶1,提拉次数15次时,ZnO薄膜的结构、透光率最好。

• 出版日期2011
• 单位昆明理工大学