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A new method to integrate ZnO nano-tetrapods on MEMS micro-hotplates for large scale gas sensor production
作者：Marasso S L; Tommasi A; Perrone D; Cocuzza M; Mosca R; Villani M; Zappettini A; Calestani D
来源：
Nanotechnology
, 2016, 27(38): 385503.
DOI：10.1088/0957-4484/27/38/385503
出版日期
2016-9-23
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