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摘要
本发明公开了一种基于卡西尼卵形线的原子力显微镜非栅格扫描方法。本发明基于卡西尼卵形线,通过对其构造参数加以合理选取并将其与斜坡信号进行叠加,最终合成了一条光滑连续、信号幅值恒定且能以最大覆盖率经过扫描区域的非光栅扫描轨迹,解决了传统栅格扫描因采用扫描过程中拐角处扫描速度方向存在突变而使得信号包含无穷项奇次谐波的三角波信号驱动扫描平台而带来的扫描平台易引发共振、扫描轨迹易失真的问题,从而能够有效提高原子力显微镜扫描频率上限,且其信号恒定的幅值与频率使得扫描平台的驱动控制器更加易于设计。以此作为原子力显微镜扫描轨迹进行扫描,具有扫描频率上限高,扫描精度好和能以较高的效率提升现有原子力显微镜的扫描性能等特点。
- 出版日期2022-8-16
- 单位华南理工大学
