一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置及控制方法|科研之友

摘要

本发明公开了一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置，包括供气装置以及相对设置的浮动体、载体，供气装置向浮动体、载体之间通入气流使浮动体、载体之间形成静压承载气膜，还包括安装于载体的高频振动发生器，所述高频振动发生器驱动所述载体高频振动。本发明能够实现抑制静压承载气膜低频振动的作用，并能够进一步避免浮动体随静压承载气膜共振，进而提高气浮支承共振的稳定性。

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