基于时间参考点的差动式线阵CCD位移传感器

作者：付敏; 彭东林; 鲁进; 陈锡侯; 郑方燕

来源：光学精密工程, 2014, (04): 956-962.

• 光电式传感器
• CCD位移传感器
• 时间参考
• 位移测量 photoelectric sensor
• CCD displacement sensor
• time reference
• displacement measure-ment

为了将线阵CCD应用于实际工程的大尺寸位移测量,利用线阵CCD像元空间与输出时间的对应关系,提出了一种差动式测量的线阵CCD位移传感器测量系统。分析了线阵CCD位移测量存在的问题,结合线阵CCD中像元空间与驱动脉冲之间的对应关系,提出一种以时间为参考点的差动式测量方法。该方法用两个空间上对齐、时间上错开半个积分周期的线阵CCD检测透光挡板上等间距分布的透光光线的位置变化;通过计算两个CCD上输出光信号的时间差,用匀速扫描测量原理实现对空间位移的测量。用雷尼绍激光干涉仪对所研制的线阵CCD位移传感器进行了校准,结果显示:在有效测量范围(600.05mm)内,经过修正后的测量误差可控制在±2μm以...

• 出版日期2014
• 单位重庆大学; 重庆理工大学