摘要

以正硅酸乙酯(TEOS)和异丙醇铝(Al(OC_3H_7)_3)为前驱体,采用溶胶-凝胶(sol-gel)提拉方法在玻璃基片上制得高透、耐磨的增透膜。使用XRD、UV-Vis、IR、和TEM测试和分析了溶胶和薄膜的结构及性能。研究表明:通过添加一定比例的Al_2O_3,使颗粒之间生成稳定致密的氧桥键Si—O—Al以及煅烧后γ-Al_2O_3的存在,调控了薄膜的微观结构,不仅明显提高了薄膜的力学性能,同时复合薄膜的光学透过率仍最高达99.2%。