本发明公开了一种压电双晶片电荷驱动电路,涉及压电精密驱动控制领域,压电双晶片的上层和下层电压片分别与传感电容串联设置在高压直流正负电源之间,高压放大器的输出端连接压电双晶片的中间公共电极,传感电容精确感知上层和下层压电片的电荷,并通过隔离放大器和差动放大器处理后与控制信号源比较,反馈控制压电双晶片的电荷差值。本发明简化压电双晶片的驱动电路,降低控制系统成本,避免反向电压驱动,利用电荷驱动方法极大提高了压电双晶片弯曲位移的控制精度。
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