纳米MOSFET/SOI器件新结构

作者：张正选; 林成鲁

来源：功能材料与器件学报, 2003, (02): 222-226.

• 纳米MOSFET
• SOI
• 双栅MOSFET
• FinFET
• SiGe/Si nanometer MOSFET
• SOI
• double-gate MOSFET
• FinFET
• SiGe/Si

重点介绍器件进入纳米尺度后出现的MOSFET/SOI器件的新结构,如超薄SOI器件、双栅MOSFET、FinFET和应变沟道等SOI器件,并对它们的性能进行了分析。

• 出版日期2003
• 单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所