电弧-磁控复合沉积TiSiN涂层及其切削性能研究

作者：李士鹏; 邓建新; 闫光远; 程宏伟

来源：航空制造技术, 2013, (14): 72-77.

DOI：10.16080/j.issn1671-833x.2013.14.018

• 涂层
• 切削力
• 显微硬度
• TiSiN
• 切削性能
• 涂层刀具
• 刀具(金属切削)
• 硬质合金基体
• 靶电流
• 电弧
• 磁控

<正>本文通过电弧离子镀-中频磁控溅射复合沉积的方法,采用独立的纯Ti靶和纯Si靶在YS8硬质合金基体上制备了TiSiN涂层。并研究了其化学含量、微观结构、硬度,以及切削45淬火钢时的切削性能,对TiSiN涂层刀具的市场应用具有积极的推动作用。

• 出版日期2013
• 单位山东大学