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N含量对CN薄膜折射率的影响
作者:乔学亮; 孙增辉; 程宇航; ***; 熊锋; 王洪水; 邓德圣
来源:
硅酸盐学报
, 2003, (05): 465-469.
DOI:10.3321/j.issn:0454-5648.2003.05.009
氮化碳薄膜
折射率
结构
射频溅射沉积
出版日期
2003
单位
华中科技大学
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