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摘要
本发明涉及一种用于X、Y方向强磁场测量的平面扭转式微传感器。包括依次连接的基底、传感器本体和封盖,其中传感器本体分为线圈电极锚区、扭转平面、电容电极锚区三部分,其中线圈电极锚区和电容电极锚区分别位于扭转平面中部的Y方向两侧外部,扭转平面中部的Y方向两侧分别向内凹,最后基底、传感器本体和封盖通过键合形成内部真空的平面扭转式微传感器。本发明实现了托卡马克的强磁环境下的X、Y方向的磁场大小的测量,通入交流信号的金属线圈在磁场下受到洛伦兹力作用,带动扭转平面有往受力方向扭转的趋势,使扭转平面以某一频率机械振动,引起上下极板间电容变化,进而推算出所测量的磁场大小。
- 出版日期2019-4-30
- 单位合肥工业大学
