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A Combined Gas Cluster Ion Beam (GCIB) and Chemical-Mechanical Polish (CMP) Planarization Scheme for Tungsten Replacement Metal Gate (W-RMG)
作者：Tseng Wei Tsu; Long Justin; Mohan Kaushik; Kagalwala Taher; Wu Changhong; Truong Connie
来源：
ECS Journal of Solid State Science and Technology
, 2016, 5(7): P404-P408.
DOI：10.1149/2.0161607jss
出版日期
2016
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