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摘要
本实用新型涉及离子源设备技术领域,具体涉及了一种引出阳离子束的灯丝气体离子源装置,包括第一离化筒、第二离化筒和电源装置,第一离化筒的一端设有第一进气口且第一离化筒的另一端设有第一逸出口,第一离化筒的外侧壁上缠绕有第一线圈,第二离化筒的一端与第一逸出口连通,第二离化筒的另一端设有第二逸出口,第一离化筒内设有灯丝组件,第二离化筒的外侧壁上缠绕有第二线圈；第二离化筒的侧壁与电源装置的正极电连接,第一离化筒和第二离化筒绝缘。本实用新型能够提高气体离化效率并避免杂质原子污染被加工工件,还能引出更纯的阳离子束。
- 出版日期2017-12-26
- 单位广州今泰科技股份有限公司; 华南理工大学
