薄膜太阳电池系列讲座(11) 硅基薄膜太阳电池(三)

作者：张晓丹; 赵颖; 熊绍珍

来源：太阳能, 2012, (07): 8-10+37.

• 薄膜质量
• Si
• 键合
• 原子键
• 辉光放电
• 共价键
• 缺陷态密度
• 非晶硅
• 悬挂键

<正>4非晶硅中氢(H)的作用(1)钝化悬挂键实际上早期采用蒸发方法制备的非晶硅材料并不含有氢(H),所以写成a-Si。缺陷态密度很高,很难制备出性能优良的器件。自从1969年Chitick等人发明了用辉光放电法(GD)制备氢化非晶硅(a-Si:H)[15],以非晶硅作有源层的器件才成为可能。

• 出版日期2012
• 单位南开大学