MEMS中的薄膜制造技术

作者：董立军; 陈大鹏; 欧毅; 黄钦文; 石莎莉; 焦斌斌; 李超波; 杨清华; 叶甜春

来源：电子工业专用设备, 2006, (01): 39-42.

• 微机电系统
• 薄膜淀积
• PVD
• CVD
• 电镀
• 物理淀积

追述了薄膜淀积技术的历史,按照制备手段对MEMS制造中使用的各种薄膜制造技术进行了大致的分类和对比,介绍了相应的理论研究概况,除了电镀技术之外,MEMS技术基本来自传统的IC制造工艺。

• 出版日期2006
• 单位中国科学院微电子研究所