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A Novel Two-Step Ammonia-Free Atomic Layer Deposition Approach for Boron Nitride
作者：Hao Wenjun; Marichy Catherine; Journet Catherine; Brioude Arnaud
来源：
ChemNanoMat
, 2017, 3(9): 656-663.
DOI：10.1002/cnma.201700148
出版日期
2017-9
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