热压烧结靶材制备氧化铟锌薄膜晶体管

作者：宋二龙; 兰林锋; 林振国; 孙圣; 宋威; 李育智; 高沛雄; 张鹏; 彭俊彪

来源：Acta Physico - Chimica Sinica, 2017, 33(10): 2092-2098.

• 薄膜晶体管
• 氧化铟锌
• 热压烧结
• 靶材
• 磁控溅射

本文研究了热压烧结条件对氧化铟锌(IZO)靶材和薄膜晶体管(TFT)性能的影响。以80%:20%(质量分数比)的ZnO和In2O3的混合粉体为原料通过热压烧结法制备IZO靶材,以制备的靶材通过磁控溅射制备IZO TFT。X射线衍射(XRD)图谱以及扫描电镜(SEM)图像表明IZO靶材结晶性好,元素分布均匀。烧结温度为850℃时靶材呈现烧结致密化,900℃-60 min条件下In2O3的挥发破坏了靶材烧结致密化。提高烧结温度或延长烧结时间加速In向ZnO晶格的扩散以及空位向表面迁移,有利于靶材致密化以及形成InZnOx晶相。TFT器件表征结果表明低密度和过高密度靶材会恶化薄膜质量,降低器件性能,可见适当高密度的靶材对制备TFT至关重要,最终900℃-90 min条件的靶材所制备的TFT性能最好,迁移率为16.25 cm2·V-1·s-1。

• 出版日期2017
• 单位华南理工大学