SOI基光耦合器研究进展

作者：刘艳; 余金中

来源：激光与红外, 2007, (01): 18-21.

• 耦合器
• 双光栅辅助定向耦合器
• 耦合效率 coupler
• dual grating-assisted directional coupler
• coupling efficiency

文章综述了国内外光耦合器的最新研究进展,着重介绍了目前耦合效率最高(55%),且与偏振无关的双光栅辅助定向耦合器的工艺流程、结构性能以及进一步提高耦合效率的可行性。

• 出版日期2007
• 单位中国科学院半导体研究所