脊形波导气流传感器制作王跃林，金仲和，丁纯，徐义刚（浙江大学信电系）光纤作为传感元件已为人们广泛接受并得到相当的重视，脊形光波导与光纤一样是一种光波导，当然也能用作传感元件。本文用微机械技术解决了脊形波导与机械结构间的工艺兼容性问题，制作了一种用波导...
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
