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摘要
本发明的一个方面包括一种用于在至少部分被对电磁辐射敏感的层覆盖的工件上形成图案的方法,包括步骤：提供将要成像到所述工件的多个位置上的至少一个图像的数据表示；将所述数据表示分割成多个扫描场条纹；重复下面步骤：光栅化所述数据表示的第一扫描场条纹,根据所述光栅化的扫描场条纹调制调制器,在所述工件的多个位置上成像所述第一扫描场条纹,在所述工件的多个位置上成像所述第一扫描场条纹的同时,光栅化所述数据表示的第二扫描场条纹,当预定量的所述图像被成像到所述工件的所述多个位置上时,终止该重复。本发明的其它方面详细地反映在说明、附图和权利要求中。
- 出版日期2009-3-25
