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摘要
基于半导体微纳工艺设计并制备了一种Fe NHf磁性薄膜的镜像四环非对称太赫兹微结构,测试了薄膜磁性能和微结构太赫兹波传输特性。结果表明Fe NHf薄膜在0.5GHz时在难轴方向的磁导率为410,共振频率为1.48GHz,磁各向异性场强度为31.88Oe(1A·m-1=4π×10-3Oe)。通过比较基于Fe NHf薄膜的微结构与相同尺寸的非磁Au薄膜的微结构的太赫兹波传输特性,发现Fe NHf薄膜四环微结构的共振频率比Au薄膜四环微结构的共振频率低,这主要是由于Fe NHf薄膜具有较高的等效电感值。实验和模拟结果表明,Fe NHf薄膜的电导率比Au薄膜低一个量级,在太赫兹共振频率下Fe NHf薄膜微结构比Au薄膜微结构具有更高的电场强度和磁场强度,其太赫兹波涡流损耗约为Au薄膜微结构的25%,因此,Fe NHf磁性薄膜的镜像四环非对称太赫兹微结构具有较大的透射率和Q值,能够更好地抑制太赫兹波的损耗。
- 出版日期2021
- 单位苏州科技大学
