摘要

为了提高Cu耐GaIn合金腐蚀的性能,采用多弧离子镀在纯Cu表面溅射Cr涂层和Al涂层。再利用原位反应和溶胶凝胶法制备出Cr/Cr2O3/Al2O3复合涂层、Cr/CrN/SiO2复合涂层以及Al/Al2O3/Al2O3复合涂层,将样品置于60℃和200℃的GaIn合金中进行腐蚀试验。GaIn合金会对Cu样表面造成严重的点状腐蚀,但在腐蚀过程中铜镓金属间化合物会附着在铜样表面,从而降低GaIn合金对铜块的腐蚀速率。GaIn合金会对Al/Al2O3/Al2O3涂层造成严重的腐蚀,使涂层大面积剥落。Cr/CrN/SiO2涂层在GaIn合金中较为稳定,腐蚀程度低,但最外层的SiO2出现开裂和剥落。Cr/Cr2O3/Al2O3涂层在GaIn合金中无明显腐蚀现象。随着腐蚀温度的升高,GaIn合金对样品的腐蚀速率也会有所提高。Cu在200℃时的腐蚀速率是在60℃时的269倍以上,黏附在Cu表面的腐蚀产物主要为CuGa2。Cr/Cr2O3/Al2O3涂层抗GaIn合金腐蚀性能最好,Cr/Cr2O3/Al2O3涂层在200℃的GaIn合金中腐蚀速率为0.049 5μm/h,且对Cu的热导率影响在1%左右。