干湿结合法在CdZnTe衬底上制备折射型红外微透镜的研究

作者：徐鹏霄; 乔辉; 王仍; 刘诗嘉; 曾巧玉; 张可锋; 李向阳

来源：半导体光电, 2014, (06): 1022-1025.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2014.06.017

• CdZnTe
• 红外探测器
• 深浮雕
• 微透镜
• ICP-RIE CdZnTe
• infrared detectors
• deep relief
• micro-lens
• ICP-RIE

针对现有微透镜加工方法难以在红外探测器衬底材料CdZnTe上实现大孔径、深浮雕微透镜制备,提出了一种利用ICP-RIE干法刻蚀结合化学湿法腐蚀制备折射微透镜的方法,通过采用多次光刻套刻后分别对CdZnTe材料进行高刻蚀速率、低损伤的ICP-RIE刻蚀,制备出具有深浮雕结构的微透镜雏形,最后采用溴-乙醇溶液腐蚀成形,成功在CdZnTe衬底上制备了深度达60μm的连续深浮雕结构的微透镜线列,并对该微透镜的面形轮廓和光学性能进行了测试分析,在红外探测器的微光学元件领域有着巨大的应用前景。

• 出版日期2014
• 单位中国科学院大学; 中国科学院上海技术物理研究所