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摘要
本实用新型涉及离子源设备技术领域,具体涉及了一种等离子体灯丝气体离子源装置,包括第一离化筒和第二离化筒,第一离化筒的一端设有第一进气口且第一离化筒的另一端设有第一逸出口,第一离化筒的外侧壁上缠绕有第一线圈,第一离化筒内设有灯丝组件；第二离化筒的一端与第一逸出口连通,第二离化筒的另一端设有第二逸出口,第二离化筒的外侧壁上缠绕有第二线圈。本实用新型通过缠绕在第一离化筒外的第一线圈以及缠绕在第二离化筒外的第二线圈,提高了气体离化效率,同时从灯丝发射出来的杂质原子会被第一离化筒内侧壁捕获,避免杂质原子污染被加工工件。
- 出版日期2017-12-26
- 单位华南理工大学; 广州今泰科技股份有限公司
