多晶硅铸锭红外探伤阴影问题浅析

作者：段金刚; 明亮; 邱昊; 陈国红

来源：电子工业专用设备, 2017, (05): 26-28+51.

• 定向凝固
• 阴影
• 固液界面
• 铸造多晶硅 Directional solidification
• Shade in Infrared detection
• Solid-liquid interface
• Polysilicon ingot casting

太阳能光伏产业多晶硅片大多来源于定向凝固多晶铸锭方法。定向凝固多晶硅锭中心区硅棒底部常出现阴影区域,对多晶硅锭的品质及铸锭得料率有一定的影响。经实验研究分析,中心硅锭底部出现阴影的原因是在晶体生长初期,打开隔热笼,边角长晶速度相对比中心长晶速度快,固液界面呈"凹"状,熔体中杂质在硅锭中心底部沉积,造成硅锭红外探伤图上出现阴影。通过多晶铸锭炉热场结构的改进及工艺的优化,使得晶体生长初期边角长晶速度变慢,固液界面的"凹"度变小,甚至使固液界面变平或微"凸",底部杂质向硅锭四周扩散,可消除多晶硅锭中心区硅棒阴影。

• 出版日期2017
• 单位中国电子科技集团公司第四十八研究所