基于力位控制的复杂曲面微纳结构加工的实验装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于力位控制的复杂曲面微纳结构加工的实验装置及方法，其中实验装置包括基板、调平台、样品夹具、金刚石探针、力传感器、Z向精密纳米位移平台、Z向微位移平台、Y向微位移平台和X向微位移平台；所述样品夹具通过调平台安装于基板上，所述X向微位移平台安装于基板上，所述Y向微位移平台安装于X向微位移平台，所述Z向微位移平台安装于Y向微位移平台，所述Z向精密纳米位移平台通过力传感器安装于Z向微位移平台，所述金刚石探针通过探针夹具安装于Z向精密纳米位移平台，且所述金刚石探针位于样品夹具的上方。本发明可利用力信号进行力位反馈控制，实现复杂曲面恒定深度微纳结构加工，装置结构简单，且成本低。

关键词