一种惰性气体辅助清洗的激光清洗装置及方法

作者:李多生; 王凯; 叶寅; 王明娣; 左敦稳; 冯庆晓; 王国波
来源:2020-05-13, 中国, CN202010401719.1.

摘要

本发明公开了一种惰性气体辅助清洗的激光清洗装置及方法,通过卡位夹将待清洗试样固定;启动增压泵,将惰性气体通过管道输送至密闭清洗箱中,持续通入惰性气体;控制二维扫描振镜的运动状态;进行激光清洗;继续持续通入惰性气体15mins后;取出待清洗试样完成激光清洗。本发明通过对惰性气体控制装置、激光器、二维扫描装置的相互配合,可以调整激光光斑大小、激光扫描速率等参数,控制惰性气体的输出时间及冲击力,防止了试样在激光清洗的高温过程中再次发生氧化反应,从而得到更为纯净的试样;提高激光清洗的质量、效果;所设置密闭清洗箱的存在可以很好的隔离操作人员与反应空间,从而达到安全操作的要求。