摘要

光栅纳米测量卡精度高,动态测量范围广,广泛应用于现代几何量计量设备中。目前国内市场上的光栅测量卡主要来自于国外,价格昂贵,自主产品比较少。为了打破这一现状,设计了一种基于DSP PCI的光栅纳米测量卡,通过预放大电路对光栅信号进行处理,采用TMS320F28335对处理的光栅信号进行细分处理,基于PCI接口芯片CH365与计算机相连,实现高精度、快速光栅纳米在线测量。实验表明,运用光栅纳米测量卡测量的位移达到了纳米级。

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