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摘要
本发明公开了一种可释放热变形的高精度六自由度微位移工作台系统,其特征在于,包括底座、支撑层、转动层、平动层、三维靶镜、载物台以及连接机构；所述支撑层、转动层、平动层实现空间中的六自由度运动并通过连接机构将六自由度位移传递到三维靶镜、载物台上；所述底座上垂直固定有多个支撑层,多个所述支撑层上共同支撑连接所述转动层,所述转动层上连接所述平动层,所述平动层上通过连接机构与所述三维靶镜的Z面连接,所述载物台置于所述三维靶镜的Z面上。本发明通过设计“槽球配对”的热膨胀释放机构,有效减小温度变化时,不同材料间的热膨胀变形量的差异对微位移工作台精度造成的影响。
- 出版日期2022-1-7
- 单位合肥工业大学
