MEMS微拾振器制备工艺研究

作者：方华斌; 刘景全; 董璐; 陈迪; 蔡炳初

来源：电子元件与材料, 2006, (07): 69-71.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2006.07.023

• 电子技术
• 微拾振器
• 微机电系统
• 固有频率
• 电压输出 electronic technology
• micro vibration pickup sensor
• MEMS
• natural frequency
• voltage output

采用微机电系统(MEMS)技术制作了悬臂梁式压电微拾振器,该技术主要包括:sol-gel法制备PZT压电膜、干法刻蚀、湿法化学刻蚀、UV-LIGA等工艺。研制的拾振器悬臂梁结构尺寸为:长2000μm,宽600μm,硅膜厚度12μm,PZT压电膜厚1.5μm,Ni质量块长600μm、高500μm。测试表明其固有频率为610Hz,适合低频振动源环境的应用。在1gn加速度谐振激励下,电压输出达562mV。

• 出版日期2006
• 单位上海交通大学