摘要

为提高现代制造业的测量精度和效率,减少废品率、提高测量效率,解决传统接触式测厚带来的误差、对工件造成的损害等问题,文中基于激光三角法测厚原理,采用智能优化算法优化光学系统参数,设计实时、在线、非接触式测厚系统,从而实现对工件的实时、高精度的测量。通过实验验证了系统的可行性,该系统采用10 mm的测量量程,测量误差不超过±8.45μm,均方差小于1.21μm,说明该系统的测量精度较高,实现了降低工件废品率、提升测厚的有效性和准确性的目标,提高了高端工件厚度测量精度。