射频磁控溅射制备SiO_2防离子反馈膜工艺探讨

作者：孙鹏凯

来源：长春大学学报, 2009, (06): 57-59.

• 微通道板
• 二氧化硅
• 防离子反馈膜 microchannel plate
• SiO2
• ion barrier film

利用射频磁控溅射方法,在微通道板输入面上做出了性能满足使用要求的SiO2防离子反馈膜。对防离子反馈膜进行了理论分析,对所制备的SiO2防离子反馈膜进行了电子透过率测试。

• 出版日期2009
• 单位长春大学