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摘要
本实用新型公开了一种基于电涡流传感器的多维测微力计,由测力单元和感测单元构成,其测力单元为一片铍铜簧片,铍铜簧片利用其外固定环支撑在上盖板上,在其中心盘面的上表面安装测力探头,在其中心盘面的下表面设置四爪测位板,四爪测位板是在中心固定盘的外围均匀分布四根等长的爪臂,各爪臂的前端设有金属薄片形成四个电涡流测头；感测单元是在圆筒形内腔中设置电涡流传感器,呈十字分布的同一平面中的四只电涡流传感器与四个电涡流测头一一对应,形成四只电涡流检测器；以四只电涡流检测器的检测信号为测微力计的检测输出信号。本实用新型具有精度高、灵敏度高、量程可调、可测不同方向力等优势。
- 出版日期2019-9-13
- 单位合肥工业大学
