微型振动式真空计的设计与制作金仲和，王跃林，丁纯，徐义刚（浙江大学信电系）利用气体分子的粘滞性可测量真空度［‘ｊ，以前人们曾发展了多种粘滞性真空计，如热偶规、转盘式真空计、振动膜真空规等。然而除了热偶规外都未被广泛应用，其主要原因在于后两种器件制作难...
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