硅微微压传感器研究进展

作者：夏文明; 丁建宁; 杨继昌

来源：传感器与微系统, 2006, 25(09): 12-14.

DOI：10.3969/j.issn.1000-9787.2006.09.004

• 硅微超微压传感器
• 电容式
• 双差动结构 silicon ultra-low-pressure sensor
• capacitive model
• dual-differential structure

硅微压力传感器的主要研究方向之一是硅微微压传感器。分析了已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点,回顾了它们的微压化进展,并在此基础上确定了硅微超微压传感器(0~100 Pa)的电容式结构形式。针对其研究过程中存在的主要难点,提出了双差动结构模型,即机械与电路部分均采用差动结构,对其研究前景做了展望。

• 出版日期2006
• 单位江苏大学