碳化硅单晶微管道缺陷测试研究

作者：章安辉; 李劼

来源：科技信息, 2011, (15): 68-69+185.

• SiC
• 微管道
• 伯格斯矢量
• 腐蚀 SiC
• Micropipe
• Burgers vector
• Etching

本文着重研究了SiC晶体微管道测量的两种方法,即KOH腐蚀法和不腐蚀测试法,并对方法及其测量结果进行比较分析,实现对SiC单晶微管道缺陷这一表征SiC单晶质量的重要参数的快速准确的测量。

• 出版日期2011
• 单位中国电子科技集团公司第四十六研究所; 西安电子科技大学