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Measuring multielectron beam imaging fidelity with a signal-to-noise ratio analysis
作者：Mukhtar Maseeh; Bunday Benjamin D; Quoi Kathy; Malloy Matt; Thiel Brad
来源：
Journal of Micro/ Nanolithography, Mems, and Moems
, 2016, 15(3): 034004.
DOI：10.1117/1.JMM.15.3.034004
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