相位恢复测量长焦距镜面(英文)

作者：丁凌艳; 吴宇列; 李圣怡

来源：光子学报, 2010, (08): 1431-1437.

• 长焦距镜面
• 面形测量
• 相位恢复
• 衍射 Long focal length mirror
• Surface metrology
• Phase retrieval
• Diffraction

针对长焦距光学镜面检测中测量光路长,振动干扰较大,不容易用干涉仪进行面形检测的难题,提出了一种基于相位恢复技术的测量方法.该方法用相干点光源照射被测镜,采集一系列焦点附近的衍射光强图像,然后运用相位恢复算法得到镜面面形误差分布.利用衍射光学理论建立了测量模型,并用基于Gerchberg-Saxton算法的迭代算法求解模型.然后仿真验证了光场传播模型的可靠性和测量算法的有效性,并用该方法测量了一块曲率半径8700mm,口径145mm的球面镜.通过对光强图像位置进行优化,并选择适当离焦位置的图像,最终恢复出了镜面面形.相位恢复测量的结果与动态干涉仪测量结果基本一致,并且测量装置简单,对环境要求低.

• 出版日期2010
• 单位中国人民解放军国防科学技术大学