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Emerging MOEMS Technology and Applications

作者：Motamedi Ed*; Kubby Joel; Oden Patrick; Piyawattanametha Wibool
来源：Journal of Micro/ Nanolithography, Mems, and Moems, 2014, 13(1): 011101.
DOI：10.1117/1.JMM.13.1.011101
  • 出版日期2014-3

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更新时间：2021-04-16 11:12