电子束曝光数据格式转换中的图形离散算法研究

作者：魏淑华; 韩立

来源：微电子学与计算机, 2010, (04): 201-204.

DOI：10.19304/j.cnki.issn1000-7180.2010.04.051

• 电子束曝光
• 数据格式转换
• 图形离散 electron beam lithography
• data format transformation
• graphics discrete algorithm

开展了圆环弧类图形离散算法的研究,提出了一种以图形的曲率半径作为离散精度依据的离散算法,既保证了高的离散精度又减小了数据量,提高了数据传输效率.该算法为曝光版图中不断出现的圆环弧类图形进行精确曝光提供了保障.通过图形实例进行验证,表明此种离散方法合理,离散结果适于电子束曝光要求.

• 出版日期2010
• 单位中国科学院电工研究所; 北方工业大学