MEMS气敏传感器

作者：惠春; 徐爱兰; 徐毓龙

来源：功能材料, 2003, (02): 133-134+139.

• MEMS技术
• 牺牲层技术
• MEMS气敏传感器

随着MEMS技术的飞速发展,各种MEMS器件和系统相继问世,MEMS气敏传感器是其中之一。本文重点介绍了7种MEMS气敏传感器。

• 出版日期2003
• 单位上海交通大学