电容式高分子湿敏元件的研究及进展

作者：张广学; 郝雁; 周明军; 卢崇考

来源：信息技术, 2005, (07): 96-98+102.

• 湿敏功能材料
• 电容式高分子湿敏元件
• 工艺过程设计
• 长期稳定性 functional humidity-sensitive material
• capacitive polymer humidity sensor
• design of technology process
• long-term stability

介绍了电容式高分子湿敏元件的几个组成部分—下电极、湿敏功能材料、上电极工艺制造技术。同时也介绍了湿敏元件防污染、电路一体化设计、长期稳定性等方面近来的研究成果。指出湿敏元件的感湿材料的选择和上电极工艺制造技术是影响湿敏元件性能的两个重要因素。

• 出版日期2005
• 单位中国电子科技集团公司第四十九研究所